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凝結(jié)水泵廠家1)凝結(jié)泵空氣門 如果運行備用的兩臺凝結(jié)泵空氣門最終是共用一根空氣管接到凝汽器去的,如果備用泵漏空氣,可能會影響到運行泵的正常運行。(共用一根空氣管,運行泵的空氣可能不會被抽走,泵體聚集空氣,致泵運行異常)
2)凝結(jié)泵容易汽化汽蝕的原因 a、凝結(jié)水溫度(可以忽略過冷卻度)是凝汽器排汽壓力下的飽和溫度,即使加上熱井水位產(chǎn)生的靜壓力(這就是為什么凝結(jié)泵要裝在較低位置的原因),凝結(jié)水泵入口的壓力還是很低,如果水泵流量小,水在泵體中會被加熱,而達(dá)到凝結(jié)水的汽化溫度,使泵產(chǎn)生汽蝕。 b、凝結(jié)水系統(tǒng)是負(fù)壓的,凝結(jié)水泵的法蘭、等處容易漏入空氣,如果空氣門沒開或漏入的空氣量太大,會使水泵積存空氣而不能正常工作。
3)凝結(jié)泵裝在泵坑的原因 凝結(jié)水溫度(可以忽略過冷卻度)是凝汽器排汽壓力下的飽和溫度,即使加上熱井水位產(chǎn)生的靜壓力,凝結(jié)水泵入口的壓力還是很低,如果水泵流量小,水在泵體中會被加熱,而達(dá)到凝結(jié)水的汽化溫度,使泵產(chǎn)生汽蝕。
凝結(jié)水泵由于低溫冷凝泵具有無油,對所有氣體的抽速都較大,特別是對水蒸汽、H2等抽速很大,適應(yīng)性強,制冷機低速運行,且運動部件很少,有利于長期可靠運行等優(yōu)點,因而,被廣泛應(yīng)用于IC生產(chǎn)工藝中的蒸發(fā)、濺射、離子注入、分子束外延以及其它諸如高能粒子加速器、受控?zé)岷朔磻?yīng)、電真空器件、材料科學(xué)、表面分析儀器等領(lǐng)域,以此來獲得清潔的高真空或超高真空。
現(xiàn)以CTITorr28冷凝泵為例,簡要闡述冷凝泵的內(nèi)部構(gòu)造特點、工作原理以及維護保養(yǎng)方面的要點。目前,冷凝泵中所使用的冷凍機有以下三種形式。
①G2M循環(huán)冷凍機:最早被用于冷凝泵中的小型極低溫冷凍機,它是根據(jù)Gifford和Mcmahon而發(fā)明研制,具有很高可靠性、極低溫度的冷凍機。如今也使用的很廣泛。
②ModifiedSolvay循環(huán)冷凍機:嚴(yán)格地說,在熱力學(xué)上與G2M循環(huán)不一樣,但在實際上也可以看作是用在氣壓驅(qū)動機構(gòu)上的G2M循環(huán)冷凍機。
③Sterling循環(huán)冷凍機:是容壓縮和膨脹為一體的冷凍機,在冷凝泵中一般作為大型機種來使用,但目前基本上不使用。
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